（1）将钼粉和铌粉（纯度均为≥99 .95%，粒径分别为20μm和35μm）按照重量比为6:1的比例装入球磨机中，然后加入棕榈酸和氧化锆磨球（粒径2mm），在氩气保护下进行球磨，所述的球磨时间为80min，球磨转速为1000r/min，过筛，分离得到粒径为9μm钼铌合金复合粉末；

所述棕榈酸和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .02倍、8倍；

（2）将步骤（1）钼铌合金复合粉末进行冷等静压成型，冷等静压的压力为200MPa，保压时间为5min，得到压制毛坯；

（3）将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型，烧结温度为1800℃，烧结时间10 h，得到靶材毛坯；

（4）将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材，钼铌合金溅射靶材为单一物相组织，组织均匀无孔洞，平均晶粒尺寸50μm，密度9 .85g/cm3。[0023] 实施例2一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺，包括以下步骤：

（1）将钼粉和铌粉（纯度均为≥99 .95%，粒径分别为15μm和30μm）按照重量比为7:1的比例装入球磨机中，然后加入硬脂酸锌和氧化锆磨球（粒径3mm），在氩气保护下进行球磨，所述的球磨时间为60min，球磨转速为1200r/min，过筛，分离得到粒径为10μm钼铌合金复合粉末；所述硬脂酸锌和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .01倍、5倍；

（2）将步骤（1）钼铌合金复合粉末进行冷等静压成型，冷等静压的压力为150MPa，保压时间为10min，得到压制毛坯；

（3）将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型，烧结温度为2000℃，烧结时间5 h，得到靶材毛坯；

（4）将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材，钼铌合金溅射靶材为单一物相组织，组织均匀无孔洞（参见图1），平均晶粒尺寸55μm，密度9 .86g/cm3。[0024] 实施例3